所有就绪,周琛长长吐了口气,又吸了回来。
旋即,他打开了身旁的一台刻蚀机。
这个刻蚀机并不复杂,它只不过作为光刻机的辅助仪器,所有都是一一配套。
周琛没作任何停顿,从口袋里掏出了那张价值连城的设计图。
“帮我扶着点。这是我们所有的心血,绝不能有丝毫疏忽。”
一旁的田肇听闻,立马上前一步环绕在光刻机四周,恨不得整个身子全都覆在上边。
光刻机的启动稍显缓慢,它先是需要通过紫外线透过掩膜。
而曝光的有一部分,有的自然就溶解掉了,而有的则是会被彻底的清除。
余下的部分,便会晶圆体表面形成电路。
光刻机的制造周琛自己都想不到会如此的顺利。
以至于当进行到这一步的时候,周琛的内容是从未有过的悸动。
“这就成了吗?”
一旁的田肇教授额头不停冒着虚汗。
坦白说,他将余生最美好的三十年奉献给了科研所。像晶圆体这些他倒是经常打交道。
这至高无上的光刻机,就像还未上学的孩童拿着课本一样。
真的一摸不刺手,完全不懂的。
“还有刻蚀最后一步。”
周琛甚至连说话的语速都放缓了。
话音刚落,周琛便亲自上阵。
最后紧要关头,他必须全力以赴!
刻蚀。简而言之就是将刻蚀在外边的硅片给刻蚀掉,不留有任何的瑕疵。
现在只需将晶圆上的胶清理后,能清晰可见那些凹糟即可。
“现在咱们可以开始注入离子了。”
周琛像是自顾自的讲道。
一旁的田肇教授以为和他讲话,于是他还在一旁附和着点了点头。
“离子注入过后,晶体才会拥有开关的功能。然后再用铜管来连接。”
这些专业术语。田肇不得不承认,连他这个年过半百的学术泰斗也不曾听闻。
只见教授缓缓从口袋里掏出了小本,把周琛的话一句一句地记了下来。
都说教出来的学生超过老师的那天,是老师最大的收获。
这一刻,田肇体验到了。眼角有热泪在渗透着。
只不过,周琛的心思完全在光刻机上,压根没回头看他一眼。
半小时过后了,田肇附在光刻机身旁,大气都不敢出。
“老师,你看!”
就在教授刚闭目养神的一刹那,周琛的话打断了他。
师徒俩早已神经绷得紧紧的。
一块覆着芯片的硅晶圆呈现在光刻机下方。
“下面剩下的便是一些切割之类的后事了。”
周琛强掩住内心的喜悦。
“我们是不是.....是不是成功了??”
田肇教授的嗓音变得愈发颤抖起来。
“我们成功了!”
“我们成功了!!”
“老师,我们真的成功了!!!”
伴随着周琛激动的话音。这一刻,田肇的眼泪再没忍住。
老眼噙满泪花。
这一刻,他等了几十年。
做梦都不敢想,自己学生在仅仅五天的时间里便完成了。
完成了那个自己一辈子不敢去尝试的光刻技术。
“咱们先试试,先试试。”
冷静过后,周琛脸上的红晕还未全部褪去。
“是是是。别急,咱们千万别急。”
“我该不会是在做梦吧。”
“哎呀还真疼。看来是真的!”
“哈哈哈~~~”
当着周琛的面,田肇教授又是掐脸又是哈哈大笑的。
这反常的表现和他德高望重的形象背道而驰。
教授眼眶里的热泪缓缓流淌着,当着学生的面,田肇顾不了那么多了。
看得出来,老师真的高兴坏了。
“下次,我还要做5nm的、3nm的。”
“甚至1nm的!!!”
周琛望着那面雪白的墙壁,眼神十分坚定。
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